摘要:本文讨论的ISO文件是:ISO14644标准第一部分:洁净室悬浮粒子分级及相关的受控环境;第二部分:洁净室和洁净区监测技术条件,以证明仍然符合第一部分的要求:第三部分:计量和测试方法.ISO14644-1与-2标准公布于2001年,并代替了世界上其他各类规范.新洁净室和洁净区的建设中,它可作为客户与供货商之间的协议文件.ISO14644-3标准现处在最后的批准阶段,并将在明年春天公布.由于该标准仅有些小的变更还在讨论之中,因此,说明仪器与测试方法的技术条件,以便给出污染级别更精确的指南,就是可以接受的了.