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反射光学元件、射束引导装置和EUV辐射产生装置

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摘要

本发明涉及一种反射光学元件(16)，其包括：内部的第一表面区域(18a)，用于对照射到反射光学元件(16)上的光束(3)的第一内辐射分量(20a)进行反射以形成第一反射光束(21a)；以及至少一个外部的第二表面区域(18b)，用于对照射光束(3)的至少一个第二外辐射分量(20b)进行反射以形成至少一个第二反射光束(21b)，其中，第二表面区域(18b)构造为使第二反射光束(21b)的射束横截面(D2)相比于第一反射光束(21a)减小，使得第二反射光束(21a)沿着重叠长度(L)完全在第一反射光束(21a)之内延伸。本发明还涉及一种具有至少一个这种反射光学元件(16)的射束引导装置(4)以及一种具有这种射束引导装置(4)的EUV辐射产生装置(1)。

著录项

  • 公开/公告号CN112166369A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 通快激光系统半导体制造有限公司;

    申请/专利号CN201880092706.1

  • 发明设计人 M·兰贝特;T·埃尔金;

    申请日2018-04-24

  • 分类号G02B27/09(20060101);H05G2/00(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人郭毅

  • 地址 德国迪琴根

  • 入库时间 2023-06-19 09:23:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-05-23

    授权

    发明专利权授予

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