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用于集成光学的联乙炔L——B薄膜

         

摘要

联乙炔脂肪酸薄膜在平面光波导中已获得应用。在L-B层中形成的聚联乙炔的畴影响异波的传播,这种影响因波的偏振和波导中的散射光而有差别。在集成光学的应用中,控制畴的尺寸和取向是沉积薄膜过程的重要特征。本文报导了这种控制的进展和区域纯化材料的若干实验,并对聚联乙炔层作为电子束抗蚀剂作了初步评价。

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