谐振式集成光学陀螺系统中用于抑制背散射噪声的相位调制技术（英文）

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• 来源
  《中国光学(中英文)》 |2019年第6期|1403-1417|共15页
• 作者

  何玉铭; 杨富华; 颜伟; 李兆峰;

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• 作者单位

  中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心;

  北京100083;

  中国科学院半导体研究所材料与光电研究中心;

  北京100083;

  中国科学院大学材料科学与光电技术学院;

  北京100049;

  中国科学院大学微电子学院;

  北京100049;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 空腔谐振器;干涉与衍射;
• 关键词

  陀螺仪; 相位调制; 光学传感和传感器; 谐振器;