公开/公告号CN112166366A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱电机株式会社;
申请/专利号CN201880093929.X
申请日2018-06-04
分类号G02B26/08(20060101);G03B21/14(20060101);B60Q1/02(20060101);F21V5/02(20060101);G02B26/10(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人马建军;邓毅
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 09:23:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-06
授权
发明专利权授予
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机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
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