Three-dimensional micromachining of silicon using a nuclear microprobe

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• 来源
  《Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. B, Beam Interactions with Materials and Atoms》 |2004年第4期|p.513-517|共5页
• 作者

  E.J. Teo; E.P. Tavernier; M.B.H. Breese; A.A. Bettiol; F. Watt; M.H. Liu; D.J. Blackwood;

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• 作者单位

  Department of Physics, Centre for Ion Beam Analysis (CIBA), National University of Singapore, Blk S12, 2 Science Drive 3, Singapore 117542, Singapore;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 原子核物理学、高能物理学;原子能技术;
• 关键词

  proton beam writing; silicon micromachining; electrochemical etching; porous silicon;

  机译：质子束写入;硅微加工;电化学蚀刻;多孔硅;