磁控溅射Al膜的AFM性能分析及其制备工艺研究

著录项

• 来源
  《物理实验》 |2007年第8期|42-46|共5页
• 作者

  何建梅; 温浪明; 章晨; 张勋; 郑锡鑫; 庄炜培; 张红; 徐海红;

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• 作者单位

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

  华南理工大学,物理科学与技术学院,广东,广州,510640;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜物理学;
• 关键词

  铝膜; 表面粗糙度; 溅射功率; 溅射时间; AFM;