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薛立伟; 王雄; 贾玉蝶; 申浩; 陈立国;
苏州大学机电工程学院;
中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所;
MEMS封装技术; 微操作; 显微视觉; 精密定位;
机译:用于精密微系统的基于压阻的MEMS传感器系统设计
机译:基于MEMS的压阻式3D应力/应变传感器的研制使用应变技术和智能温度补偿
机译:MEMS粘度传感器(η-MEMS)的研制旨在实际使用 - 传感器架的小型化和测量控制系统的优化
机译:微组装微压阻表面微机械三轴力传感器的设计
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:基于MEMS的低成本压阻微悬臂力传感器和传感器模块
机译:阵列型MEMS压阻式智能压力传感器系统的设计,制造和实现
机译:开发无线mEms多功能传感器系统和用于监测混凝土路面的嵌入式传感器的现场演示:第二卷 - 用于混凝土路面健康监测的无线mEms多功能传感器(Wms)系统的开发。
机译:使用微电机系统(MEMS)微镜阵列(MMS)的有源模式成像传感器的光学非均匀性校正(NUC)
机译:具有微机电系统(MEMS)技术的微流体通道可嵌入,横向振荡的重力传感器装置
机译:利用微机电系统(mems)技术制造的微流体通道可嵌入,横向振荡重量传感器设备
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