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基于PMAC的激光诱导化学液相沉积实验系统研究

         

摘要

在介绍激光诱导化学液相沉积(LCLD)技术的基础上,给出了基于该技术的新型快速原型系统图,并分析了系统的工作过程.针对该原型系统,采用半导体光纤激光器和PMAC运动控制卡,设计了用于CAD模型分层后二维薄层沉积的LCLD实验系统,详细介绍了实验系统的硬件平台,给出了典型零部件的设计计算.在室温条件下,以45#钢为基体,激光波长808nm,在实验系统上进行了LCLD沉积Cu的实验.结果表明,采用快速成型系统获得的CLI文件,实验系统能够满足LCLD进行二维薄层沉积的需要,具有较好的速度.

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