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抗激光减反射膜

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摘要

介绍１．０～１．８μｍ抗激光宽带减反射膜的薄膜设计，制备工艺，测试方法及结果。通过采取一系列工艺改进措施，大幅度提高了膜片的抗激光性能，制备的膜片抗光损伤阈达到５００ｍＷ／ｃｍ＾２。

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来源
《应用光学》 |1995年第3期|46-50|共5页
作者
单凡;
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作者单位

西安应用光学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O484.41;
关键词
抗激光; 减反射膜; 镀膜; 激光阈值; 薄膜;

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