BaTiO3系PTC热敏电阻溅射电极的微观结构

龚树萍; 赵加强; 周东祥

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BaTiO3系PTC热敏电阻溅射电极的微观结构

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通过对磁控溅射工艺制备的BaTiO3系PTC热敏电阻电极的研究,发现在瓷片表面沉积镍或铝,无需热处理即可与瓷片形成良好的欧姆接触,并实现了电极与瓷片间良好的附着.利用扫描电镜对溅射形成的镍层进行观察,发现溅射成膜属于层核生长型,晶粒无择优取向,膜层致密,厚度均匀,与瓷片接触紧密,并与瓷片表面形貌有着较好的一致性.但与化学镀镍工艺制备的镍层相比,晶粒大小不够均匀.

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来源
《电子元件与材料》 |2004年第5期|29-3138|共4页
作者
龚树萍; 赵加强; 周东祥;
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作者单位

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;

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正文语种 chi
中图分类正温度系数热敏电阻;
关键词
BaTiO3系PTC热敏电阻; 溅射电极; 微观结构; 欧姆接触;

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