介质薄膜的制备及其电性能的测试分析

著录项

• 来源
  《电子元件与材料》 |2004年第5期|39-4051|共3页
• 作者

  崔红玲; 杨邦朝; 杜小松; 滕林; 周鸿仁;

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• 作者单位

  电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

  电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

  电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

  电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

  电子科技大学微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 材料;
• 关键词

  二氧化二铝薄膜; 电子束蒸发; 电性能测试; 电阻率;