Improvement of Uniformity of Inductively Coupled Plasma with a Cone Spiral Antenna

著录项

• 来源
  《中国物理快报：英文版》 |2008年第6期|2144-2146|共3页
• 作者

  李林森; 徐旭; 刘峰; 周前红; 聂宗福; 梁以资; 梁荣庆;

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• 作者单位

  Institute of Modern Physics;

  Fudan University;

  Shanghai 200433;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 天线;
• 关键词

  螺旋天线; 感应耦合等离子体; 物理实验; 径向密度;