Pseudo-Rhombus-Shaped Subwavelength Crossed Gratings of GaAs for Broadband Antireflection

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• 来源
  《中国物理快报：英文版》 |2010年第12期|99-101|共3页
• 作者

  陈熙; 樊中朝; 张晶; 宋国锋; 陈良惠;

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• 作者单位

  Laboratory of Nano-Optoelectronics;

  Institute of Semiconductors;

  Chinese Academy of Sciences;

  Beijing 100083;

  Engineering Research Center for Semiconductor Integrated Technology;

  Institute of Semiconductors;

  Chinese Academy of Sciences;

  Beijing 100083;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 干法腐蚀工艺;
• 关键词

  亚波长光栅; 砷化镓; 反射光栅; 划线; 菱形; 宽频; 非线性响应; 抗蚀剂曝光;