ECCP干法刻蚀条件下的TFT基板绝缘层过孔腐蚀的改善

著录项

• 来源
  《液晶与显示》 |2019年第2期|119-124|共6页
• 作者

  邱鑫茂; 廖加敏; 伍蓉; 付婉霞; 吴洪江; 王宝强; 陈曦; 李梁梁; 刘耀; 林鸿涛;

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• 作者单位

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  福州京东方光电科技有限公司;

  福建 福州 350300;

  北京京东方显示技术有限公司;

  北京 100176;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 液晶显示器件;
• 关键词

  ECCP模式; 过孔刻蚀; 腐蚀改善;