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摘 要
Abstract
第 1 章 绪 论
1.1 课题的来源、背景及其意义
1.2 绝缘体上硅材料与功率分离器简介
1.2.1 绝缘体上硅材料
1.2.2 光功率分离器的发展
1.3 反向自动优化硅光子器件的研究现状
1.3.1 像素点型自动优化硅光子器件的研究进展
1.3.2 拓扑型自动优化硅光子器件的研究进展
1.3.3 自动优化方法其他器件的研究
1.3.4 研究现状分析
1.4 本论文主要研究工作
第 2 章 类二维码任意比例硅光功分器的设计与优化
2.1 引言
2.2 多模干涉器的理论分析
2.3 类二维码任意比例硅光功分器的设计
2.4 类二维码任意比例硅光功分器的仿真结果与分析
2.4.1 2.7μm×2.7μm器件仿真结果与分析
2.4.2 3.6μm×3.6μm器件仿真结果与分析
2.5 本章小结
第 3 章 类二维码任意比例硅光功分器的实验制备
3.2 光刻前制备工艺
3.3 硅基无源器件样品制备
3.4 实验光路搭建
3.5 本章小结
第 4 章 类二维码任意比例硅光功分器的测量与分析
4.1 引言
4.2 类二维码任意比例硅光功分器的测量方法
4.3 类二维码任意比例硅光功分器的实验结果与分析
4.4 本章小结
结 论
参考文献
攻读学位期间所获得的研究成果
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
